長科智能的維修師傅對Nidec尼得科雙臂晶圓機器人SR8220-1017上機測試時，收到了如下故障提示：

3-3-0：發(fā)生了ABS無法信任錯誤；

5-5：編碼器通信錯誤：編碼器通信超時（ENCODER通信錯誤：ENCODER編碼器通信TIMEOUT）；

11-77-0：編碼器通信接收錯誤；

3-1-0：編碼器通知ABS消失；

4-17-0：電壓低下錯誤（編碼器錯誤）

15-2-0：驅(qū)動通信錯誤；

5-102：主板通信錯誤：主板參數(shù)設定失敗。

長科智能的維修師傅對硬件進行排查時，發(fā)現(xiàn)尼得科伺服電機MM101N2LBLD磨損嚴重，和客戶猜測的一樣。于是采購了一臺新的尼得科伺服電機給換上。

Nidec尼得科雙臂晶圓機器人SR8220-1017參數(shù)：

手臂：雙手臂；

自由度：4-AXES

R軸（第1,2軸手臂）動作范圍：534 mm；

Z軸動作范圍：300 mm/600 mm；

θ軸動作范圍：340 deg.;

R軸（第1,2軸手臂）最高速度：5.76rad/sec.；

Z軸最高速度：450mm/sec.；

θ軸最高速度：6.98rad/sec.;

往復精度：+/-0.1 mm；

潔凈度：ISO Class 2；

本體重量：80 kg。

控制器：SC5000-STD-1010

示教器：OP5000

Nidec尼得科雙臂晶圓機器人SR8220-1017優(yōu)勢：

1、采用2ARM構(gòu)造，增大了搬運范圍；

2、實現(xiàn)晶圓的高速傳輸和雙片同取放；

3、確保了超高的直線精度；

4、ARM和Z軸的各種組合以滿足對應各種裝置的需求；

5、可同時適用于4-12英寸的晶圓搬送。

       尼得科雙臂晶圓機器人SR8220-1017可用在半導體設備的前端模塊EFEM，EFEM模塊設備配備大氣晶圓搬運機器人，安裝在框架中，框架配備有FFU（風扇過濾器單元）和安裝在前面的裝載端口，是連接物料搬運系統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環(huán)境下傳輸?shù)焦に?、檢測模塊。

Nidec尼得科雙臂晶圓機器人SR8220-1017維修好后，組裝好，準備發(fā)貨